潔凈室風速及平衡性測試檢測方法總結

單一流向型無塵室，很多都是設計成垂直層流，因此風速均勻度非常重要，只有均勻的垂直層流，才能有效排除微粒污染。非單一流向型無塵室，由于微?？刂频挠^念是稀釋，不是立即排除，一般而言其換氣量遠比風速重要。但是需注明是濾網風速測量或是無塵室室內風速測量。

無塵室里面使用的 HEPA/ULPA 濾網，其送出氣流的速度多半都控制在 0.5m/s 以內，因此所使用的風速計必須是低速型。濾網風速測量可使用單點式風速計如電子式壓力計配合皮氏管、熱線式風速計。也可以使用多點式風速計如 Shortridge Velgrid 16 點風速計。輪葉式風速計因使用范圍不同，通常不在無塵室內使用。熱線式風速計（ Hot Wire ）雖然高頻響應良好，但是低速時 〈 0.5m/s 以下 〉 準確性很低，因此不很適用，一般熱反應風速計常用的是 Thermeister 式風速計。轉輪式風速計由于本身重量問題，也不適用低速。 檢驗儀器須經校正合格，且仍在有效期限內。

(6) 記錄所有原始數值，以及分析后的數值。重要的是在非單一流向型無塵室測試時，特別注意取樣時風速計不可受到干擾，以免影響準確度。